Информация

Константин Анатольевич Воротилов

профессор, директор НОЦ «Технологический центр»
доктор технических наук
Телефон: -
Год рождения: 1960
Общий стаж работы: с 1983
Педагогический стаж: с 1998
Наименование направления подготовки и (или) специальности по диплому: Полупроводниковые и микроэлектронные приборы

Преподаваемые дисциплины:
  1. Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники (аспирантура, магистрат)
  2. Структуры МДП в электронике (магистрат)
Научные стажировки: North China University of Technology (2016)
Область научных интересов: технологии микро-и наноэлектроники, тонкие пленки, активные диэлектрики, сегнетоэлектрики, диэлектрики с низкой диэлектрической проницаемостью, золь-гель технология, методы молекулярной самосборки

Значимые научные работы:
  1. Delimova L., Guschina E., Zaitseva N., Pavlov S., Seregin D., Vorotilov K., Sigov A. Effect of seed layer with low lead content on electrical properties of PZT thin films // Journal of Materials Research. – 2017. – V. 32. – № 9. – P. 1618-1627.
  2. Delimova L.A., Guschina E.V., Seregin D.S., Vorotilov K.A., Sigov A.S. Unexpected behavior of transient current in thin PZT films caused by grain-boundary conduction // Journal of Applied Physics. – 2017. – V. 121. – № 22. – P. 224104.
  3. Nenashev R.,Yingjie Wang,Chunhui Liu, Kotova N., Vorotilov K., Jing Zhang, Shuhua Wei, Seregin D., Vishnevskiy A., Jihperng (Jim) Leu, and Baklanov M. R. Effect of Bridging and Terminal Alkyl Groups on Structural and Mechanical Properties of Porous Organosilicate Films. // ECS Journal of Solid State Science and Technology. – 2017. – V. 6. – № 10. – P. N182-N188.
  4. Komandin G.A., Porodinkov O.E., Spektor I.E., Volkov A.A., Vorotilov K.A., Seregin D.S., Sigov A.S. Electrodynamic properties of porous PZT-Pt films at terahertz frequency range // Physica Status Solidi C. – 2017. – V. 14. – № 1-2. – P. 1600211(1-5).
  5. Podgorny Y., Vorotilov K., Sigov A. Determination of the Steady State Leakage Current in Structures with Ferroelectric Ceramic Films // Physics of the Solid State. - 2018. - Vol. 60. - No. 3, pp. 433–436
  6. Nenashev R. N., Vishnevskii A. S., Kotova N. M., and Vorotilov K. A. Properties of Sol–Gel Derived Thin Organoalkylenesiloxane Films // Inorganic Materials. - 2018. - Vol. 54. - No. 4. - pp. 405–411.


Лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники,
действительный член РАЕН,
Член Совета РАН по физике активных диэлектриков,
Член научного совета РАН по физико-химическим основам полупроводникового материаловедения