Моделирование и проектирование микро- и наносистем

Методические материалы по курсу «Проектирование и моделирование микро- и наносистем»

Учебные пособия и методические указания

  1. Индришенок В.И. Основы приборно-технологического моделирования в Sentaurus TCAD [Электронный ресурс]: Учебное пособие / Индришенок В.И., Певцов Е.Ф. — М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. — 140 стр. 1 электрон. опт. диск (CD-ROM). TCAD-06.pdf
  2. Певцов Е.Ф., Деменкова Т.А., Аль-Натах Р.И. Основы моделирования и проектирования МЭМС в САПР CoventorWare: Учебное пособие [Электронный ресурс] // Московский технологический университет (МИРЭА) – М., 2016. – 98 с. ISBN 978-5-9909518-0-8. (MEMS-17.pdf).
  3. Савицкий В. А. Микросистемная техника и ее компоненты [Электронный ресурс]: учебное пособие. — М.: МИРЭА, 2016. — Электрон. опт. диск (ISO).
  4. Певцов Е.Ф. Автоматизация физического эксперимента. Лабораторный практикум. Часть 2. Основы проектирования схем с микроконтроллерами: Учебное пособие // Электронное издание МГТУ МИРЭА. 2013. 42 с. ISBN 978-5-7339122-33. MC_AVR_Pevtsov.pdf + Commands_AVR.pdf.
  5. Певцов Е.Ф. Моделирование и разработка устройств микросистемой техники на основе программного пакета CoventorWare // Методические указания по выполнению лабораторных работ. Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический Университет). М.: МИРЭА 2006, 32 с. (MEMS_Pevtsov.pdf).

Лекции 2019 г.:

IV курс ЭНБО-01-16 («Проектирование и моделирование микро- и наносистем»):

Контрольная работа Control_2.pdf

Вопросы к экзамену
по проектированию и моделированию микро- и наносистем Вопросы для зачета-19.pdf

Основная литература:

  1. Щука А.А. Наноэлектроника: учебник для бакалавриата и мгистратуры / под общ. ред. А.С. Сигова. – М.: Издательство Юрайт, — 2017. – 297 с.
  2. Банков С.Е., Куршин А.А. Электродинамика для пользователей САПР СВЧ. Учебник. / М.: СОЛОН-Пресс,- 2017, 316 с.
  3. Каплун А.Б., Морозов Е.М., Олферьева М.А. ANSYS в руках инженера. Практическое руководство. / М.: Книжный дом «ЛИБРОКОМ», 2015. — 272с.
  4. Вонг Б.П. Нано-КМОП-схемы и проетирование на физическом уровне / Вонг Б.П., Миталл А., Цао Ю., Старр Г. – М.:Техносфера, 2014. – 432 с.

Дополнительная литература:

  • Савицкий В. А.Курс лекций по микросистемной технике и электронике [Электронный ресурс] / В. А. Савицкий. — М.: МИРЭА, 2012. — Электрон. опт. диск (ISO).
  • Распопов В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. — М.: Машиностроение, 2007. — 400 с.
  • Гридчин В.А. Физика микросистем: учеб. пособие / Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2006. — 496 с.