Основные направления научно-исследовательской работы кафедры наноэлектроники:
· Микроструктура, электрофизические и нелинейно-оптические свойства сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники
· Сегнетоэлектрические ионные пленки: получение, исследования, моделирование свойств, перспективы использования
· Разработка технологии формирования диэлектрических слоев с низкой диэлектрической проницаемостью для производства интеральных схем с топологическими размерами элементов 0,065-0,8 мкм
· Исследование многослойных магнитных наноструктур ферромагнетик-антиферромагнетик
· Разработка и исследования физико-технологических принципов создания СБИС многоспектральных тепловых приемников излучения на основе тонкопленочных структур с изменяемыми характеристиками
· Изучение аморфных и нанокристаллических магнитомягких сплавов на основе железа с высокой магнитной индукцией
· Поиск и исследование явления гигантского магнитного импеданса в материалах с высокой магнитной проницаемостью
· Тонкие пленки TiNi, обладающие эффектом памяти формы, для приборов и устройств МЭМС
· Контактные и металлические жертвенные слои в технологии МЭМС.
· Структурообразование и диффузионные межфазные процессы при формировании многослойных металлических контактных систем для многоуровневой металлизации УБИС
· Разработка информационных технологий проектирования систем сбора данных и обработки сигналов на базе микропроцессоров, микроконтроллеров и программируемых логических микросхем
